Холдинг «Швабе» Госкорпорации Ростех запатентовал технологию очистки деталей из ситалла, применяющихся в микроэлектронике. Новая методика превосходит существующие способы по качеству обработки изделия от видимых следов загрязнений в виде отдельных частиц или масляной пленки.
Технологию разработали специалисты предприятия «Швабе» – Научно-исследовательского института «Полюс» (НИИ «Полюс»). Она предназначена для применения на этапе финишной полировки при создании лазерных гироскопов. Способ успешно прошел испытание на практике и будет внедрен в производственный процесс в ближайшей перспективе.
«К чистоте поверхности изделий из ситалла предъявляются очень высокие требования перед выполнением дальнейших технологических операций. Наш метод сочетает в себе наиболее эффективные приемы очистки поверхности деталей и превосходит существующие способы по качеству обработки», – сообщил генеральный директор НИИ «Полюс» Евгений Кузнецов.
Процесс осуществляется в несколько этапов. На первом изделие из ситалла подвергается химической очистке и промывке в деионизированной воде. Затем на протяжении 7–14 минут обрабатывают с помощью высокочастотного технического устройства – плазмотрона, работающего на кислородно-аргоновой газовой смеси. Комбинированная методика НИИ «Полюс» обеспечивает получение чистой поверхности детали без видимых следов загрязнений в виде остатков органики, пыли или масляной пленки.
Ситалл – стеклокристаллический материал, обладающий высокой термической стойкостью, однородностью и прочностью. Он активно применяется на предприятиях оптической отрасли при изготовлении различных микроэлектронных элементов и устройств, применяемых в оптоэлектронном приборостроении. В числе передовых разработок ученых Холдинга – новый вид ситалла – одного из главных материалов космической отрасли. В мире технологией его изготовления владеют лишь три компании, в том числе «Швабе».
Фотографии
