23 сентября 2016 года ОАО «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения» отпраздновал свое 55летие, на прошедшем торжественном мероприятии Кузнецов Анатолий Васильевич – генеральный директор АО «ВЦКБ «Полюс», председатель ВРО ООО «СоюзМаш России» поздравил руководителя ОАО «НИИПМ» Тупикина В.Ф. с юбилеем предприятия, а также вручил ему ко Дню машиностроителя почетную грамоту Воронежского регионального отделения общероссийской общественной организации «Союз машиностроителей России».
Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения в Воронеже - один из ключевых представителей отрасли электронного машиностроения в РФ и старейшее предприятиеразработчик и изготовитель специального технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники.
ОАО «НИИПМ» является важной составной частью инновационной системы региона, - отметил вицепрезидент Союза «ТПП Воронежской области» Николай Щипелев. - Предприятие постоянно работает над созданием нового, не имеющего аналогов в мире, оборудования. Коллектив, разрабатывающий проекты будущего, обязан верить и верит в будущее своего собственного предприятия. Эта вера позволила коллективу выстоять в сложные 90е и стабильно развиваться в наши дни. В то же время ОАО «НИИПМ» стало площадкой для создания технопарка «Содружество», на котором сейчас размещается около 60 резидентов. Это в основном малые инновационные предприятия. Таким образом, ОАО «НИИПМ» и Торговопромышленная палата обречены на сотрудничество, которое давно сложилось, и мы намерены его расширять в дальнейшем.
Исторически сформировавшаяся специализация института практически не изменилась за последние пятьдесят пять лет и в таких направлениях, как фотолитография, химическая обработка пластин и фотошаблонов, синтез тонкопленочных покрытий, плазмохимическая обработка, контрольноизмерительное и контрольноиспытательное оборудование. Институт сохранил и преумножает научнотехнический задел, занял лидирующие позиции и продолжает активно развиваться.
За годы своей работы институт выполнил более тысячи научноисследовательских и опытноконструкторских работ, разработано более 500 образцов технологического, контрольноизмерительного и испытательного оборудования, - рассказал генеральный директор ОАО «НИИПМ» Вячеслав Тупикин. - Нами изготовлено свыше 10 тысяч единиц современного оборудования для оснащения предприятий радиоэлектронного комплекса.
Научнопроизводственная площадка ОАО «НИИПМ» включает в себя множество отделов и лабораторий, а также производство, состоящее из нескольких цехов. Рабочий коллектив, насчитывает 250 сотрудников, из которых около половины заняты научной, конструкторской и технологической работой. Среди них доктора и кандидаты наук, инженернотехнические работники.
За свою славную, перешагнувшую полувековой рубеж историю ОАО «НИИПМ» все время остается ведущим центром по разработке и исследованию технологических процессов и оборудования в Воронеже, - сказал заместитель начальника отдела промышленности и инноваций управления развития предпринимательства, потребительского рынка и инновационной политики Иван Шерстяных. - Несмотря на проблемные годы перестройки и тяжелые для нашей науки и промышленности 90е, институт продолжает вносить свою немалую лепту в дело научнотехнологического развития не только нашего города и области, но и страны в целом.
Одним из приоритетных направлений в НИИПМ с 1968 года стало оборудование фотолитографии. После успешной разработки первой автоматической однотрековой линии фотолитографии институт был назначен головным предприятием по разработке фотолитографического оборудования в министерстве. Институт не только оснащал предприятия микроэлектроники прогрессивным высокопроизводительным оборудованием, но и успешно разрабатывал типовые технологии процессов фотолитографии. До сих пор данное направление сохраняет динамику своего развития в создании оборудования для реализации физикохимических процессов фотолитографии на пластинах и в производстве фотошаблонов - от ручных и полуавтоматических установок до автоматизированных и роботизированных трековых линий и кластеров.
Автоматизированные линии химического травления и химического нанесения металлических слоев являются отражением современного состояния направления технохимического оборудования в НИИПМ. В основу разработок автоматизированных комплексов химической обработки положено модульное исполнение, предполагающее возможность организации разнообразных технологических процессов путем комплектования отдельных модулей, Кроме того, использованы новые конструкторские решения в сочетании с полной автоматизацией всех процессов химической обработки, вспомогательных технологических операций и транспортировки. Этот принцип позволяет разработать комплексы оборудования для реализации ряда различных процессов: химической очистки и травления, селективного автокаталитического осаждения финишных металлических покрытий на контактные площадки изделия.
Оборудование гидромеханической и мегазвуковой очистки пластин, фотошаблонов, керамических и стеклянных подложек, которое разрабатывается «НИИПМ», предназначено для односторонней и двухсторонней, индивидуальной и групповой обработки объектов, изготавливается в ручном, полуавтоматическом или автоматическом исполнении.
В перечне производимого институтом плазмохимического оборудования представлены установки для плазмохимической, ионноплазменной, реактивноионной обработки в ручном, полуавтоматическом или автоматизированном исполнении, периодического или непрерывного действия, предназначенного для травления и очистки, для обработки поверхности широкого спектра изделий электронной техники.
Одним из перспективных направлений института являются разработки по созданию современных устройств ионноплазменного вакуумного распыления, занявшие прочные позиции в технологиях изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем для формирования контактов на поверхности микросхем.
Сохранив свою специализацию, институт продолжает держать курс на инновационное развитие. В планах предприятия - разработка новых перспективных технологий и создание автоматизированных комплексов оборудования.
Фотографии
